手持式四探针测试仪硅材料电阻率测试仪RTS-3型手持式四探针测试仪体积小，精度高，测量范围宽，运用四探针原理能够测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻。

产品型号：SN/RTS-3

更新时间：2024-10-20

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手持式四探针测试仪硅材料电阻率测试仪

型号：SN/RTS-3

RTS-3型手持式四探针测试仪体积小，精度高，测量范围宽，运用四探针原理能够测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻。

技术参数：

测量范围	电阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方块电阻：0.1～19999Ω/□；
恒流源	电流量程分为100μA、1mA两档，两档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1%；显示：以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数	(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量zui大相对误差	(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度	≤5%
外型尺寸	185mm(长)90mm(宽)30mm(高)
重量	350g
电源	锂电池，一次充电可连续使用100小时；
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射